Equipements pour l’industrie des semi-conducteurs et l’opto-mécanique

• Une expérience inégalée dans la fabrication de structures ultra-stables de 3 mètres
• Possibilité de solution intégrée sur une seule pièce : système de palier à air, canaux de refroidissement internes, miroir intégré
• Des pièces monolithiques en SiC aux assemblages complexes, Mersen Boostec fabrique des bancs, des grandes platines et des poutres ultra-stables ainsi que des structures coulissantes offrant un positionnement rapide et précis, mais aussi des chucks

 La solution Boostec^® SiC

• De nombreuses options de configuration configurable à la demande
• Résistance mécanique élevée et insensibilité à la fatigue mécanique
• Isotropie parfaite grâce au matériau SiC
• Finition polie pouvant servir de référence optique
• Stabilité dans le temps à toute épreuve
• Étanchéité aux gaz et à l’eau, aucun dégazage, aucune absorption d’humidité
• Résistance à l’usure
• Excellente inertie chimique