Équipement pour les semiconducteurs

graphite ultra pur Mersen
équipement graphite MOCVD épitaxie Mersen
graphite grain fin Mersen
équipement semiconducteurs Mersen

Equipements en graphite pur pour l'industrie des semiconducteurs, MOCVD et photovoltaïque

Epitaxie et MOCVD :

Durant les phases de dépôt de couches minces telles que l'épitaxie ou le MOCVD, Mersen fournit des équipements en graphite ultra pur qui vont supporter les substrats ou "wafers". Intervenant au cœur du procédé, ces équipements, suscepteurs d'épitaxie ou plateaux satellites pour le MOCVD sont d'abord soumis à l'environnement du dépôt :

  • forte température.
  • Vide poussé.
  • Utilisation de précurseurs gazeux agressifs.
  • Zéro contamination, absence de pelage
  • Résistance aux acides forts lors des nettoyages

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